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1、掃描電鏡從原理上講就是利用聚焦得非常細的高能電子束在試樣上掃描，激發出各種物理信息。

2、通過對這些信息的接受、放大和顯示成像，獲得測試試樣表面形貌的觀察。

3、當一束極細的高能入射電子轟擊掃描樣品表面時，被激發的區域將產生二次電子、俄歇電子、特征x射線和連續譜X射線、背散射電子、透射電子，以及在可見、紫外、紅外光區域產生的電磁輻射。

4、同時可產生電子-空穴對、晶格振動（聲子)、電子振蕩（等離子體）。

5、擴展資料：研發歷程：1873 Abbe 和Helmholfz 分別提出解像力與照射光的波長成反比。

6、奠定了顯微鏡的理論基礎。

7、1931德國物理學家Knoll 及Ruska 首先發展出穿透式電子顯微鏡原型機。

8、1938 第一部掃描電子顯微鏡由Von Ardenne 發展成功。

9、1959年第一臺100KV電子顯微鏡 1975年第一臺掃描電子顯微鏡DX3 在中國科學院科學儀器廠（現北京中科科儀技術發展有限責任公司）研發成功。

10、參考資料來源：百度百科-掃描電子顯微鏡。

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