導讀 京儀裝備宣布 近日 在晶圓倒片機的研發上 京儀裝備又實現了重大突破 自主研發出高速集成電路制造晶圓倒片機(12 吋雙臂晶圓倒片機)
京儀裝備宣布 近日 在晶圓倒片機的研發上 京儀裝備又實現了重大突破 自主研發出高速集成電路制造晶圓倒片機(12 吋雙臂晶圓倒片機) 同時通過了北京市首臺(套)重大技術裝備評定。
獲悉 晶圓倒片機在集成電路制造業應用廣泛 隨著生產線自動化水平的提高 高效率、高可靠性、高潔凈度、高適配性及易維護性一直是其發展方向 晶圓倒片機在生產線上的應用越來越多 市場需求量越來越大。
京儀裝備表示 對晶圓倒片機的整機研發屬國內首例 其關鍵零部件 ——機械手 具備完整自主知識產權。該產品成功實現每小時 300 片以上的倒片速度 技術指標達到國際先進水平。
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