家電小知識:什么是LED光阻劑?

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新時代發展越來越快相信很多小伙伴對家電知識這方面很朦朧吧,正好小編對家電方面頗有研究,現在就跟小伙伴們聊聊一篇關于什么是LED光阻劑?,相信很多小伙伴們都會感興趣,那么小編也收集到了有關什么是LED光阻劑?信息,希望小伙伴們看了有所幫助。

什么是LED光阻劑?

光阻,亦稱為光阻劑,是一個用在許多工業制程上的光敏材料。像是光刻技術,可以在材料表面刻上一個圖案的被覆層。

光阻有兩種,正向光阻(posiTIve photoresist)和負向光阻(negaTIve photoresist)

正向光阻是光阻的一種,其照到光的部分會溶于光阻顯影液,而沒有照到光的部份不會溶于光阻顯影液。

負向光阻是光阻的一種,其照到光的部分不會溶于光阻顯影液,而沒有照到光的部份會溶于光阻顯影液。

正型光阻劑及負型光阻劑主要是應用在LED芯片制造的金屬電極蒸鍍Lift-off制程中,由于LED電極所使用的金屬材料不易經由蝕刻的方式制作電路圖形,所以利用拔起(Lift-off)微影制程,得到突起的(Overhang)光阻圖形,使金屬在蒸鍍過程中不會連續性滿布在光阻劑上,再用去光阻劑的方式將未遭金屬布蓋的光阻部份拔起,完成金屬電極的圖案。

半導體制程常用的正型光阻劑,在光學曝光方式下,光阻劑上層接受能量較下層光阻高,使得正型光阻劑成像大部份圖形為上窄下寬,無法經一次曝光方式即得到Overhang的圖形,而負型光阻劑的成像恰好與正型光阻劑圖像相反,所以負型光阻劑是lift-off制程的最佳選擇。

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