導讀 1月21日消息 據微博 @科創版日報 消息 ASML 昨日交付了第一臺 YieldStar 385 檢測系統。這款產品具備更快速的工作臺以及更快的波
1月21日消息 據微博 @科創版日報 消息 ASML 昨日交付了第一臺 YieldStar 385 檢測系統。這款產品具備更快速的工作臺以及更快的波長切換功能 與此前型號相比具備最新的測量技術 提高了測量速度和準確度 可滿足 3nm 制程要求。
YieldStar 385 并不是光刻機 而是用于制造好晶圓檢測的裝置 可用于各種工藝下的測量 定位有損壞的部分。目前的 YieldStar 380G 系統 采用 425nm 至 885nm 波長的光源進行檢測 中心精度可達 1nm 并且支持聚焦于不同的深度 檢查芯片不同層的良率。
ASML 沒有透露這款產品的銷售對象 但 IT 之家此前曾報道 臺積電表示將于今年開始 3nm 芯片的研發制造 預計于 2022 年實現量產。
責任編輯：PSY
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