大家好，小原來為大家解答以上問題。硅片清洗如何，硅片的清洗方法很多人還不知道，現在讓我們一起來看看吧！

1、首先去除硅片表面的有機污染物，因為有機物會覆蓋硅片表面的一部分，導致氧化膜和相關污染物難以去除；

2、然后溶解氧化膜，因為氧化層是“污染陷阱”，也會引入外延缺陷；最后，顆粒、金屬和其他污染物被去除，硅晶片的表面被鈍化。

本文到此結束，希望對大家有所幫助。