導讀 您好,肖大哥就為大家解答關于ECR含義是什么,ecr是什么意思相信很多小伙伴還不知道,現在讓我們一起來看看吧!1、電子回旋共振(Electron Cy...
您好,肖大哥就為大家解答關于ECR含義是什么,ecr是什么意思相信很多小伙伴還不知道,現在讓我們一起來看看吧!
1、電子回旋共振(Electron Cyclotron Resonance)微波等離子技術是本世紀六十年代中期開始的,經過幾十年的發展,現在已日趨成熟。
2、微波ECR等離子體與傳統等離子體相比,具有高密度、高能量轉換率、低工作氣壓、無電極放電、高各向異性以及低離子能量等優點,最初被應用于核聚變的開發研究,后來又在托卡馬克、串級磁鏡等聚變裝置中進行等離子體加熱研究。
3、近年來,ECR等離子體被廣泛運用于微電子技術,材料加工,低溫表面處理工藝中。
本文就講到這里,希望大家會喜歡。